行波式压电微电机的等效电路特性
文献类型:期刊论文
作者 | 马建旭 ; 王立鼎 ; 崔天宏 ; 昌琼莹 |
刊名 | 光学精密工程
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出版日期 | 1996-04-30 |
期号 | 02页码:42-47 |
关键词 | 等效电路 行波式压电微电机 微机械 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32442] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 马建旭,王立鼎,崔天宏,等. 行波式压电微电机的等效电路特性[J]. 光学精密工程,1996(02):42-47. |
APA | 马建旭,王立鼎,崔天宏,&昌琼莹.(1996).行波式压电微电机的等效电路特性.光学精密工程(02),42-47. |
MLA | 马建旭,et al."行波式压电微电机的等效电路特性".光学精密工程 .02(1996):42-47. |
入库方式: OAI收割
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