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压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制

文献类型:期刊论文

作者吴一辉
刊名仪器仪表学报
出版日期1999-02-20
期号01页码:92-93+108
关键词压电定位 电荷控制 谐波线性化
公开日期2013-03-12
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32528]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
吴一辉. 压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制[J]. 仪器仪表学报,1999(01):92-93+108.
APA 吴一辉.(1999).压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制.仪器仪表学报(01),92-93+108.
MLA 吴一辉."压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制".仪器仪表学报 .01(1999):92-93+108.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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