压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制
文献类型:期刊论文
作者 | 吴一辉![]() |
刊名 | 仪器仪表学报
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出版日期 | 1999-02-20 |
期号 | 01页码:92-93+108 |
关键词 | 压电定位 电荷控制 谐波线性化 |
公开日期 | 2013-03-12 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32528] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉. 压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制[J]. 仪器仪表学报,1999(01):92-93+108. |
APA | 吴一辉.(1999).压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制.仪器仪表学报(01),92-93+108. |
MLA | 吴一辉."压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制".仪器仪表学报 .01(1999):92-93+108. |
入库方式: OAI收割
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