a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王丽娟 ; 刘博林 ; 惠博然 |
| 刊名 | 长春光学精密机械学院学报
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| 出版日期 | 1998-09-30 |
| 期号 | 03页码:51-53+79 |
| 关键词 | 湿法刻蚀 针孔 钻蚀 |
| 公开日期 | 2013-03-12 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32547]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王丽娟,刘博林,惠博然. a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究[J]. 长春光学精密机械学院学报,1998(03):51-53+79. |
| APA | 王丽娟,刘博林,&惠博然.(1998).a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究.长春光学精密机械学院学报(03),51-53+79. |
| MLA | 王丽娟,et al."a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究".长春光学精密机械学院学报 .03(1998):51-53+79. |
入库方式： OAI收割
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