动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 付永启 ; 刘怀道 |
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 1996-02-29 |
| 期号 | 01页码:29-32 |
| 关键词 | 动态目标发生器 圆鼓图形 光学刻划 掩模板 |
| 公开日期 | 2013-03-12 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32559]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 付永启,刘怀道. 动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制[J]. 光学精密工程,1996(01):29-32. |
| APA | 付永启,&刘怀道.(1996).动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制.光学精密工程(01),29-32. |
| MLA | 付永启,et al."动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制".光学精密工程 .01(1996):29-32. |
入库方式： OAI收割
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