衍射光栅刻划机分度误差的实时测量
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨厚民 ; 王晓琳 |
| 刊名 | 仪器仪表学报
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| 出版日期 | 1993-08-29 |
| 期号 | 04页码:408-411 |
| 关键词 | 分度误差:6432 衍射光栅刻划机:5052 实时测量:5031 理论分析:1780 均匀性误差:1158 分辨率:955 原理:837 不确定度:828 脉冲填充:694 鬼线:693 |
| 公开日期 | 2013-03-12 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32576]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨厚民,王晓琳. 衍射光栅刻划机分度误差的实时测量[J]. 仪器仪表学报,1993(04):408-411. |
| APA | 杨厚民,&王晓琳.(1993).衍射光栅刻划机分度误差的实时测量.仪器仪表学报(04),408-411. |
| MLA | 杨厚民,et al."衍射光栅刻划机分度误差的实时测量".仪器仪表学报 .04(1993):408-411. |
入库方式： OAI收割
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