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CCD尺寸检测装置中采用远心光路的实验分析

文献类型:期刊论文

作者刘宏波
刊名长春光学精密机械学院学报
出版日期1991-04-02
期号01页码:19-23
关键词尺寸检测 远心光路
公开日期2013-03-12
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32659]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
刘宏波. CCD尺寸检测装置中采用远心光路的实验分析[J]. 长春光学精密机械学院学报,1991(01):19-23.
APA 刘宏波.(1991).CCD尺寸检测装置中采用远心光路的实验分析.长春光学精密机械学院学报(01),19-23.
MLA 刘宏波."CCD尺寸检测装置中采用远心光路的实验分析".长春光学精密机械学院学报 .01(1991):19-23.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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