软X射线光学的研究进展
文献类型：会议论文
| 作者 | 金春水
|
| 出版日期 | 2000 |
| 关键词 | 软X射线光学:9576 研究进展:2739 空间天文学:395 超光滑表面:395 激光等离子体:352 激光核聚变:331 高技术领域:270 光刻技术:244 单元技术:231 应用学科:224 |
| 中文摘要 | <正>软X射线光学研究是近20年发展起来的一门新兴的应用学科,在空间天文学、激光核聚变、生命科学、材料科学、光刻技术等学科和高技术领域均有应用,尤其是在软X射线天文观测、显微术和光刻术中应用较成熟,其基础是诸如软X射线源、多层膜及超光滑表面加工技术等软X射线光学关键单元技术的日臻成熟.自1997年起,本研究小组开展了无污染CO_2冷冻靶及气体靶激光等离子体软X射线光源的研究工作,并在软X |
| 收录类别 | 中国会议 |
| 会议录出版者 | 中国科学技术出版社 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32701]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水. 软X射线光学的研究进展[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
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