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光栅刻划机的双重定位间歇式分度控制

文献类型:会议论文

作者时轮
出版日期2001-09-01
会议地点中国吉林长春
关键词双重定位:6173 间歇式:5535 分度定位:3547 连续式:2065 工件台:1929 刻划机:1925 连续回转:1773 控制方式:1247 光栅:1069 压电陶瓷驱动:1056
中文摘要<正>光栅刻划机被誉为精密机械之王,是制作高质量母光栅最重要的手段。其高精度的定位性能主要取决于它的分度控制方式,传统的分度方式有间歇式分度和连续式分度两种,双重定位间歇式分度则是最新发展起来的分度方式。
收录类别中国会议
会议录出版者中国科学技术出版社
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32709]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
时轮. 光栅刻划机的双重定位间歇式分度控制[C]. 见:. 中国吉林长春.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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