光栅刻划机的双重定位间歇式分度控制
文献类型:会议论文
作者 | 时轮 |
出版日期 | 2001-09-01 |
会议地点 | 中国吉林长春 |
关键词 | 双重定位:6173 间歇式:5535 分度定位:3547 连续式:2065 工件台:1929 刻划机:1925 连续回转:1773 控制方式:1247 光栅:1069 压电陶瓷驱动:1056 |
中文摘要 | <正>光栅刻划机被誉为精密机械之王,是制作高质量母光栅最重要的手段。其高精度的定位性能主要取决于它的分度控制方式,传统的分度方式有间歇式分度和连续式分度两种,双重定位间歇式分度则是最新发展起来的分度方式。 |
收录类别 | 中国会议 |
会议录出版者 | 中国科学技术出版社 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32709] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 时轮. 光栅刻划机的双重定位间歇式分度控制[C]. 见:. 中国吉林长春. |
入库方式: OAI收割
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