聚合物微环谐振波分复用器研制工艺研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 邓文渊 ; 鄂书林
|
| 出版日期 | 2005-11-01 |
| 会议地点 | 中国广东四会 |
| 关键词 | 微型谐振 波分复用器 聚合物 |
| 中文摘要 | 本文对一种新型结构的波分复用器——微型谐振环波分复用器 (MRRWM)进行了研究,在以前理论设计和参数优化的基础上,对器件制作工艺进行了细致的探索,采用符合器件光学性能要求的聚合物材料PMMA,在硅基板上制做出垂直信道波导和微环波导,微环与信道波导采用垂直耦合的方式,利用铝掩膜和反应离子刻蚀技术完成了1×8信道的器件制作。聚合物MRRWM的中心波长为1．550 918μm,输出波长间隔△λ=1．6nm,中心微环半径R=131．95μm,相邻微环半径差△R=500．0nm,自由光谱区FSR=1．85nm,器件实现了微环谐振输出。 |
| 收录类别 | 中国会议 |
| 会议录出版者 | 暨南大学出版社 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32716]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邓文渊,鄂书林. 聚合物微环谐振波分复用器研制工艺研究[C]. 见:. 中国广东四会. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。