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等离子体协助的ZnS:Mn外延层生长及其电致发光

文献类型:会议论文

作者张振中; 申德振
出版日期2001
会议地点中国厦门
关键词等离子体协助MOCVD ZnS:Mn外延层 电致发光
中文摘要在低压MOCVD条件下,采用等离子体协助方法进行ZnS和ZnS:Mn 外延层生长。在普通玻璃衬底上,150℃生长的ZnS外延层由X光衍射谱表明有较强的(111)衍射峰,随生长温度提高至350℃,位于(111)的ZnS衍射峰值半高宽(△2θ)变窄(0.21°),表明获得较高的ZnS 外延层质量。由于采用等离子体协助分解,使TCM 由原来热分解温度500℃下降至350℃可完成ZnS:Mn 外延层生长,并在室温下观测到起因于Mn 中心,发光峰值位于596 nm 的电致发光。
收录类别中国会议
会议录出版者重庆仪表材料研究所、中国仪器仪表学会仪表材料学会、《功能材料》编辑部、国家仪表功能材料工程技术研究中心
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32718]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
张振中,申德振. 等离子体协助的ZnS:Mn外延层生长及其电致发光[C]. 见:. 中国厦门.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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