衬底温度对Cd_xZn_(1-x)Te外延层中Cd组分含量的影响
文献类型：会议论文
| 作者 | 张振中 ; 申德振
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| 出版日期 | 2001 |
| 会议地点 | 中国厦门 |
| 关键词 | 衬底温度 Cd组分 吸附 脱附 |
| 中文摘要 | 以二甲基锌、二甲基镉和二乙基碲为原料,借助于低压金属有机物气相外延设备(LP-MOVPE),在(100)GaAs 衬底上生长了不同组分的Cd_xZn_(1-x)Te 外延层。分别用X射线衍射法(XRD)和光致发光(PL)对外延层质量进行了表征。结果表明,在固定三种反应物流量不变的情况下,随着衬底温度升高,外延层中Cd 组分含量单调递减。这一现象的起因被归结为反应物分子在吸附和脱附性质上的差异。 |
| 收录类别 | 中国会议 |
| 会议录出版者 | 重庆仪表材料研究所、中国仪器仪表学会仪表材料学会、《功能材料》编辑部、国家仪表功能材料工程技术研究中心 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32724]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张振中,申德振. 衬底温度对Cd_xZn_(1-x)Te外延层中Cd组分含量的影响[C]. 见:. 中国厦门. |
入库方式： OAI收割
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