多晶硅薄膜材料的准分子激光烧结制备与性能研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 邱法斌 ; 张玉 ; 骆文生 ; 刘传珍 ; 荆海 ; 黄锡珉 |
| 出版日期 | 2001 |
| 会议地点 | 中国厦门 |
| 关键词 | 激光烧结 多晶硅薄膜 制备 性能 |
| 中文摘要 | 在玻璃衬底上采用PECVD法制备a-Si:H薄膜基础上,采用308nmXeCl激光器对所制备的薄膜进行了激光晶化烧结,利用XRD、Raman、SEM及电学性能测试等方法对所制备多晶硅薄膜材料的结构与性能进行了研究. |
| 收录类别 | 中国会议 |
| 会议录出版者 | 重庆仪表材料研究所、中国仪器仪表学会仪表材料学会、《功能材料》编辑部、国家仪表功能材料工程技术研究中心 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32730]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邱法斌,张玉,骆文生,等. 多晶硅薄膜材料的准分子激光烧结制备与性能研究[C]. 见:. 中国厦门. |
入库方式： OAI收割
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