亚波长周期结构光栅的制作工艺和理论关系研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 曹召良 ; 卢振武; 孙强
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| 出版日期 | 2002 |
| 会议地点 | 中国长春 |
| 关键词 | 制作工艺 占空比 光栅周期 刻蚀深度 最佳结合点 |
| 中文摘要 | 利用严格耦合波理论(RCWA)从两方面研究了亚波长周期结构光栅的理论计算结果和制作工艺的关系:一是理论设计光栅时,理论结果和制作工艺的最佳结合问题;二是制作具有一定应用要求的光栅时,应用要求、理论和制作工艺的最佳结合来选择光栅的参数的问题。 |
| 收录类别 | 中国会议 |
| 会议录出版者 | 科学出版社 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32733]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹召良,卢振武,孙强. 亚波长周期结构光栅的制作工艺和理论关系研究[C]. 见:. 中国长春. |
入库方式： OAI收割
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