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Polymer/SiAWG器件材料光学常数的准确测量

文献类型:会议论文

作者鄂书林
出版日期2004
会议地点中国杭州
关键词聚合物 光学常数 列阵波导光栅
中文摘要本文使用WVASE32型椭偏仪,对Si基聚合物薄膜的折射率和吸收系数的测量方法进行分析;对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料在波长为1.55μm时的折射率进行了准确测量,并根据测量结果对聚合物AWG器件进行了设计,器件通道数为32,工作波长为1.55μm,波长间隔为0.8nm。本文同时探讨了多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜折射率的测量方法。
收录类别中国会议
会议录出版者浙江大学出版社
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32735]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
鄂书林. Polymer/SiAWG器件材料光学常数的准确测量[C]. 见:. 中国杭州.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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