激光直接写入系统曝光量分布分析
文献类型：会议论文
| 作者 | 卢振武 ; 赵晶丽
|
| 出版日期 | 2002 |
| 会议地点 | 中国长春 |
| 关键词 | 物理光学 衍射光学 激光直接写入 曝光量分布分析 |
| 中文摘要 | 基于直角坐标激光直接写入系统和极坐标激光直接写入系统,分别给出了曝光量分布的计算公式,讨论了曝光量分布和光强分布之间的差别。用曝光量分布预测了显影后抗蚀剂中线条的面形。实验结果与理论分析相吻合。 |
| 收录类别 | 中国会议 |
| 会议录出版者 | 科学出版社 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32764]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢振武,赵晶丽. 激光直接写入系统曝光量分布分析[C]. 见:. 中国长春. |
入库方式： OAI收割
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