轻质离轴碳化硅非球面反射镜加工与检测
文献类型：会议论文
| 作者 | 王孝坤
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| 出版日期 | 2012-04-20 |
| 会议地点 | 中国广东深圳 |
| 关键词 | 碳化硅 非球面反射镜 CCOS技术 计算全息 |
| 中文摘要 | 分析了碳化硅作为空间反射镜材料的各种优点,研究了加工和检测碳化硅非球面反射镜的各项关键技术。利用自行开发的非球面加工中心FSGJ-2对离轴碳化硅非球面进行了研磨、抛光和轮廓测量,并专门设计研制了计算全息衍射检测装置,对其进行了零位补偿干涉测量。结合工程实例对一口径为468mm×296mm的离轴碳化硅非球面进行了超精加工与检测,最终面形PV值为0.148λ,RMS值为0.017λ,达到了良好的效果。 |
| 收录类别 | 中国会议 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32863]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王孝坤. 轻质离轴碳化硅非球面反射镜加工与检测[C]. 见:. 中国广东深圳. |
入库方式： OAI收割
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