一种光电式微位移测量装置
文献类型：会议论文
| 作者 | 王恒坤
|
| 出版日期 | 2011-06-01 |
| 会议地点 | 中国辽宁沈阳 |
| 关键词 | C8051F020 光栅尺 光栅尺分辨力 测距精度 |
| 中文摘要 | 目前在直线位移测量领域内光栅尺是应用较为广泛的具有代表性的传感器,但由于易受码盘刻划、温度以及装调工艺等因素的影响,很难在微位移测量领域内发挥其可靠性强,精度高,结构简单等特点。所以在光栅尺的基础上设计了一种体积小,并以数字形式输出的高分辨力,高精度的微位移测量装置。经实验证明本系统在5毫米测量范围内分辨力达到0.2 3微米,精度达到0.6微米。大大满足了微位移测量要求。 |
| 收录类别 | 中国会议 |
| 会议录出版者 | 《仪器仪表学报》杂志社(Editorial Office of Chinese Journal of Scientific Instrument) |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32903]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王恒坤. 一种光电式微位移测量装置[C]. 见:. 中国辽宁沈阳. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。