图案化TiO2薄膜的制备技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 梁山 ; 陈淼 |
| 刊名 | 化学进展
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 20期号:11页码:66.1(0-5) |
| 关键词 | 图案化 TiO2 膜 自组装 光刻胶 光敏膜 软刻蚀 微接触印刷 patterned TiO2 films selfassembly photoresist photosensitivefilms softlithography microcontact printing |
| ISSN号 | 1005-281X |
| 通讯作者 | 陈淼 |
| 中文摘要 | 摘要 按图案的生成方式可分为图案的直接生成、掩膜复制法和硬质模板复制法 3 大类。可以通过针尖写蚀法、电子书写蚀法、激光写蚀法、自组装法和光电化学法直接制备图案。掩膜复制法包括光刻胶法、自组装膜法和光敏凝胶膜法等; 硬质模板法也称软刻蚀技术, 分为复制微模塑、转移微模塑、毛细管微模塑、微接触印刷法、光-盖印印刷等技术。本文综述了图案化 TiO2 薄膜的制备技术, 对每类方法的优缺点作了评述, 对今后图案化 TiO2 薄膜制备的研究方向提出了一些建议。 |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 收录类别 | SCI ; CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金项目(No.20473106);国家重点基础研究发展计划(973)项目(No.2007CB607605);国家自然科学基金创新研究群体科学基金项目(No.50421502)资助 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-03-28 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/2742]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁山,陈淼. 图案化TiO2薄膜的制备技术[J]. 化学进展,2008,20(11):66.1(0-5). |
| APA | 梁山,&陈淼.(2008).图案化TiO2薄膜的制备技术.化学进展,20(11),66.1(0-5). |
| MLA | 梁山,et al."图案化TiO2薄膜的制备技术".化学进展 20.11(2008):66.1(0-5). |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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