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中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王鹏 ; 张俊彦; 张广安
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| 刊名 | 摩擦学学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 28期号:2页码:118-122 |
| 关键词 | 中频磁控溅射 Al-DLC薄膜 摩擦磨损性能 medium frequency magnetron sputtering Al-DLC thin films tribological properties |
| ISSN号 | 1004-0595 |
| 通讯作者 | 张俊彦 |
| 中文摘要 | 摘要: 采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石 (Al-DLC)薄膜, 利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损试验机等考察薄膜表面形貌、结构及其摩擦磨损性能. 结果表明: 所制备的Al-DLC薄膜均匀、致密, 表面粗糙度小, 应力较低, 硬度较高; 薄膜与 Si3N4陶瓷球对摩时显示出良好抗磨减摩性能; 加基底偏压所制备薄膜的摩擦系数明显降低, 耐磨寿命显著提高. |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 收录类别 | EI ; CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金资助项目(50572108;50772115);中国科学院“ 百人计划” 资助项目 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:3245743 |
| 公开日期 | 2013-03-28 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/2755]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
| 通讯作者 | 张俊彦 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王鹏,张俊彦,张广安. 中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究[J]. 摩擦学学报,2008,28(2):118-122. |
| APA | 王鹏,张俊彦,&张广安.(2008).中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究.摩擦学学报,28(2),118-122. |
| MLA | 王鹏,et al."中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究".摩擦学学报 28.2(2008):118-122. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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