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金属复合对 CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响

文献类型:期刊论文

作者王立平; 张广安
刊名润滑与密封
出版日期2008
卷号33期号:5页码:30-32
关键词CrN薄膜 磁控溅射 金属复合 摩擦磨损 CrN coatings magnetron sputtering metal alloyed wear properties
ISSN号0254-0150
中文摘要摘要: 采用反应磁控溅射制备了 CrN、Cr-Al-N与 Cr-Ti-N复合薄膜; 利用 XRD与 SEM表征了薄膜的结构及断面形貌; 采用摩擦磨损实验机考察了薄膜的摩擦磨损性能; 研究了金属复合对薄膜结构和摩擦磨损性能的影响。结果表明:所制备的复合薄膜中 Al与 Ti均以置换方式固溶于 CrN中, 取代了一部分 Cr原子, 形成固溶体的合金复合薄膜; 合金复合后薄膜的结晶性变差, 晶粒均出现细化; 合金复合薄膜的摩擦磨损性能均有不同程度的提高, 其中 Cr-Al-N薄膜的耐磨性极大提高。
学科主题材料科学与物理化学
收录类别CSCD
资助信息国家重点基础研究发展计划(“973”计划)资助项目(2007CB607601);国家自然科学基金资助项目(50772115)
语种中文
公开日期2013-03-28
源URL[http://210.77.64.217/handle/362003/2759]  
专题兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
王立平,张广安. 金属复合对 CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响[J]. 润滑与密封,2008,33(5):30-32.
APA 王立平,&张广安.(2008).金属复合对 CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响.润滑与密封,33(5),30-32.
MLA 王立平,et al."金属复合对 CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响".润滑与密封 33.5(2008):30-32.

入库方式: OAI收割

来源:兰州化学物理研究所

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