硅基光子集成的器件及制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 黄昌俊 ; 邓晓清 ; 成步文 ; 王红杰 ; 杨沁清 ; 余金中 ; 胡雄伟 ; 王启明 |
| 发表日期 | 2003-11-05 |
| 专利类型 | 发明 |
| 英文摘要 | Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-06-04T08:36:34Z No. of bitstreams: 1 dspace.cfg: 33388 bytes, checksum: ac9630d3fdb36a155287a049e8b34eb7 (MD5); Made available in DSpace on 2009-06-04T08:36:35Z (GMT). No. of bitstreams: 1 dspace.cfg: 33388 bytes, checksum: ac9630d3fdb36a155287a049e8b34eb7 (MD5) Previous issue date: 2008-08; Made available in DSpace on 2009-06-11T08:57:34Z (GMT). No. of bitstreams: 1 full/02118525.pdf: 498846 bytes, checksum: 360fe03a2d7a0a661fafe1a3e7c019c8 (MD5) Previous issue date: |
| 公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 ; 2010-10-15 |
| 申请日期 | 2002-04-26 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN02118525.5 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3011]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄昌俊,邓晓清,成步文,等. 硅基光子集成的器件及制作方法. 2003-11-05. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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