Development of an experimental EUVL system - art. no. 672408
文献类型：会议论文
| 作者 | Chun-Shui J. ; Li-Ping W. ; Li-Chao Z. ; Qiang L. ; Shu P. ; Jian-Lin C. |
| 出版日期 | 2007 |
| 会议日期 | 2007 |
| 页码 | 72408-72408 |
| 收录类别 | CPCI-S |
| 会议录 | Proceedings of the Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (Spie)
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| 会议录出版者 | Spie-Int Soc Optical Engineering |
| 会议录出版地 | Bellingham |
| 语种 | 英语 |
| ISBN号 | 0277-786X 978-0-8194-6881-9 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/35063]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Chun-Shui J.,Li-Ping W.,Li-Chao Z.,et al. Development of an experimental EUVL system - art. no. 672408[C]. 见:. 2007. |
入库方式： OAI收割
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