检测键合质量的红外透视成像装置及调节方法
文献类型：专利
| 作者 | 何国荣 ; 郑婉华 ; 杨国华 ; 石岩 ; 渠红伟 ; 宋国锋 ; 陈良惠 |
| 发表日期 | 2008-05-14 |
| 专利类型 | 发明 |
| 英文摘要 | Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-06-04T08:36:34Z No. of bitstreams: 1 dspace.cfg: 33388 bytes, checksum: ac9630d3fdb36a155287a049e8b34eb7 (MD5); Made available in DSpace on 2009-06-04T08:36:35Z (GMT). No. of bitstreams: 1 dspace.cfg: 33388 bytes, checksum: ac9630d3fdb36a155287a049e8b34eb7 (MD5) Previous issue date: 2008-08; Made available in DSpace on 2009-06-11T08:58:21Z (GMT). No. of bitstreams: 1 full/200610114407.pdf: 616867 bytes, checksum: bc70fee9b674777d2ffdee536df58c26 (MD5) Previous issue date: |
| 公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 ; 2010-10-15 |
| 申请日期 | 2006-11-09 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200610114407 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4021]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何国荣,郑婉华,杨国华,等. 检测键合质量的红外透视成像装置及调节方法. 2008-05-14. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。