一种恒温装置及其控制方法
文献类型:专利
作者 | 张日清 ; 刘祥林 ; 杨少延 ; 张晓沛 ; 董向芸 |
发表日期 | 2009-03-11 |
专利类型 | 发明 |
英文摘要 | Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-06-04T08:36:34Z No. of bitstreams: 1 dspace.cfg: 33388 bytes, checksum: ac9630d3fdb36a155287a049e8b34eb7 (MD5); Made available in DSpace on 2009-06-04T08:36:35Z (GMT). No. of bitstreams: 1 dspace.cfg: 33388 bytes, checksum: ac9630d3fdb36a155287a049e8b34eb7 (MD5) Previous issue date: 2008-08; Made available in DSpace on 2009-06-11T08:58:34Z (GMT). No. of bitstreams: 1 full/CN200710121360.7.pdf: 618938 bytes, checksum: c956acd91c19d3cdc86428b81d813eea (MD5) Previous issue date: |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 ; 2010-10-15 |
申请日期 | 2007-09-05 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN200710121360.7 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4317] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张日清,刘祥林,杨少延,等. 一种恒温装置及其控制方法. 2009-03-11. |
入库方式: OAI收割
来源:半导体研究所
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