在蓝宝石衬底上二次生长高质量ZnO单晶厚膜的方法
文献类型：专利
| 作者 | 何金孝 ; 段 尭 ; 曾一平 ; 王晓峰 |
| 发表日期 | 2009-09-23 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中科院半导体研究所 |
| 英文摘要 | 于AD批量导入至AEzhangdi; 于AD批量导入至AEzhangdi |
| 公开日期 | 4007 ; 2010-10-15 |
| 申请日期 | 2008-03-19 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200810102202 |
| 专利代理 | 汤宝平 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/9028]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何金孝,段 尭,曾一平,等. 在蓝宝石衬底上二次生长高质量ZnO单晶厚膜的方法. 2009-09-23. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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