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过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李桂英 ; 曹尔妍; 张勇
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| 刊名 | 中国有色金属学报
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| 出版日期 | 2003-02-20 |
| 卷号 | 13期号:1页码:167-171 |
| 关键词 | 显微硬度 结合力 多层膜 |
| 通讯作者 | 李成明 |
| 中文摘要 | 用过滤电弧技术在高速钢表面沉积了TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜 ,用扫描电镜 (SEM )观察了截面和断口形貌及划痕后的形貌。使用俄歇电子谱仪进行剥层成分分析 ,用纳米压痕仪测试了多层膜和单层膜的显微硬度和弹性模量。结果表明 ,在调制周期大于 10 0nm时 ,多层膜的显微硬度符合Hall Petch关系 ,在 80nm时 ,则脱离线性关系。划痕法测试多层膜的结合力达到 80N。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41720]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李桂英,曹尔妍,张勇. 过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜[J]. 中国有色金属学报,2003,13(1):167-171. |
| APA | 李桂英,曹尔妍,&张勇.(2003).过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜.中国有色金属学报,13(1),167-171. |
| MLA | 李桂英,et al."过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜".中国有色金属学报 13.1(2003):167-171. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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