微型惯性传感器
文献类型：成果
| 主要完成人 | 焦继伟等 |
| 获奖日期 | 2009 |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 1．简要背景 惯性传感器主要包括加速度传感器和陀螺,是运动量和振动量测量最主要和关键的器件。从1990年代开始,由于MEMS技术的迅猛发展,采用微机械加工手段和微电子批量生产方式制作的微惯性传感器目前逐渐成为惯性器件发展的一个技术主流。由于微机械惯性传感器具有体积小、成本低、可靠性高和批量制造等优势,其应用市场十分广阔。 2．取得的突破和进展 我所“十五”期间承担了微型惯性传感器方向的中科院重大创新项目和上海市科委重大项目,重点目标是采用先进的MEMS技术研制高g加速度传感器、振动传感器和微陀螺。在近3年 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113480]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 焦继伟等. 微型惯性传感器. 鉴定:无. 2009. |
入库方式： OAI收割
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