微机械热电堆红外探测器及其制造方法
文献类型：成果
| 主要完成人 | 未知 |
| 获奖日期 | 2010 |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种微机械热电堆红外探测器及其制造方法。其特征在于封闭膜结构是在硅基体上由各向异性腐蚀剂腐蚀后,留下侧壁为(111)慢腐蚀面的腔体,在腔的顶部留下一层复合介质膜,在该膜上有热堆的热结区,位于红外吸收区附近,冷结区在硅基体上;悬梁支撑膜腔基本结构与此相同,仅悬梁一端固支,与硅基体相连;另外一端仅有两点与基体相连。制造工艺关键是通过采用键合技术与与硅腐蚀减薄技术相结合制作Si/SiO2/Si3N4/Si结构,形成膜／腔结构。本发明摒弃了以往正反两面对准光刻技术,简化了工艺而且使制造出器件间距可适当减 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113494]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 未知. 微机械热电堆红外探测器及其制造方法. 鉴定:无. 2010. |
入库方式： OAI收割
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