一种用于微机械器件制作玻璃/硅键合装置及其使用方法
文献类型：成果
| 主要完成人 | 李欣欣 ; 王跃林 ; 张锟 ; 陆德仁 ; 熊斌 ; 罗乐 |
| 获奖日期 | 2005 |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 成果涉及一种用于微机械器件制作的玻璃/硅键合装置,主要有探针电极工作台、显微镜、CCD及监视组件、硅片加热工作台及玻璃片定位工作台四部分组成,实施在硅片/玻璃片受热膨胀变形均匀稳定后进行对准并同时键合,使得键合对准精度达到1um的要求,提高了键合器件的精度和性能。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113582]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李欣欣,王跃林,张锟,等. 一种用于微机械器件制作玻璃/硅键合装置及其使用方法. 鉴定:无. 2005. |
入库方式： OAI收割
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