新型功能薄膜材料的离子束制备
文献类型：成果
| 主要完成人 | 柳襄怀 ; 王曦 ; 冯涛 ; 郑志宏 ; 任琮欣 ; 江炳尧 ; 蒋军 |
| 获奖日期 | 2006 |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 该产品采用离子束増强沉积技术在栅网表面形成的类石墨碳膜和铪膜,抑制栅电子发射获得成功,首创了一种新的真空管栅的处理方法,在精密制导、卫星通讯、雷达侦察、遥感遥测、电子对抗、飞船定位和对接方面有重要用途。本项成果已经获得授权的国防专利1项,发明专利1项,获得中国科学院发明奖二等奖1项,中国科学院自然科学奖三等奖1项。本发明技术已在航天和军事领域获得成功应用。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113606]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 柳襄怀,王曦,冯涛,等. 新型功能薄膜材料的离子束制备. 鉴定:无. 2006. |
入库方式： OAI收割
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