平板显示器用非晶金刚石薄膜制备技术
文献类型：成果
| 主要完成人 | 柳襄怀 ; 王曦 ; 赵建平 ; 陈智颖 ; 茅东升 ; 李炜 ; 杨石奇 ; 郑志宏 ; 林梓鑫 ; 陈莉芝 ; 王惠民 ; 张福民 |
| 获奖日期 | 2001 |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 本课题用真空磁过滤弧沉积方法,制备得到全新的非晶金刚石薄膜。其特点是无氢,SP3键可高达90%,制得的薄膜致密结合力好。这种制备方法得到的金刚石薄膜具有优异的场电子发射特性,其阈值场强小于2.9V/μm。表面功函数为0.05V左右,发射点密度高于1000/cm^2。采用金属Ti作为过渡层,采用孔洞阵列制作方法,在场强14.3V/μm时,场发射电流达到64mA/cm^2,发射点密度达到3.0～3.5×10^3/cm^2。是国际上金刚石薄膜制作冷阴极的最佳结果之一。实现了非晶金刚石薄膜冷阴极平板显示器1×1英 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113607]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 柳襄怀,王曦,赵建平,等. 平板显示器用非晶金刚石薄膜制备技术. 鉴定:无. 2001. |
入库方式： OAI收割
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