表面微机械加工红外热堆
文献类型：成果
| 主要完成人 | 卢建国 ; 沈德新 ; 董荣康 ; 卢平芳 ; 解健芳 ; 陈芬扣 ; 熊斌 ; 王渭源 |
| 获奖日期 | 1999 |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 该成果为“九五”攻关课题。红外热堆传感器用途广泛,用于红外测量、 非接触测温、铁路发热监控、报警以及辐公路等。器件根据Seeback效应,将两种具有不同热电势的材料组成热电偶对串联构成热电堆,因温差产生电势差测量温度。研制成器件性能达到：响应率15～25V/W,集成度：50对/2×2mm^2 ;响应时间＜50ms;测量范围-50～2000摄氏度。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113611]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢建国,沈德新,董荣康,等. 表面微机械加工红外热堆. 鉴定:无. 1999. |
入库方式： OAI收割
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