纳米半导体薄膜材料加工测试平台(中科院)
文献类型：成果
| 主要完成人 | 宋志棠 ; 封松林 ; 刘卫丽 ; 刘波 ; 林成鲁 ; 沈勤我 ; 林梓鑫 ; 张楷亮 ; 郭晓慧 |
| 获奖日期 | 2004 |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所半导体薄膜工程技术研究中心纳米半导体薄膜材料加工测试平台拥有包括纳米半导体薄膜材料制备、加工和测试等方面的多种仪器设备,其中,纳米半导体薄膜材料制备设备有：高真空磁控溅射设备、超高真空电子束蒸发设备、等离子体辅助增强沉积系统、磁过滤弧沉积系统、脉冲激光沉积系统;纳米半导体薄膜材料加工设备有：离子注入机、化学机械抛光机、快速退火炉、高温退火炉、EATON-Z200离子束混合装置。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113625]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋志棠,封松林,刘卫丽,等. 纳米半导体薄膜材料加工测试平台(中科院). 鉴定:无. 2004. |
入库方式： OAI收割
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