纳米半导体薄膜材料加工测试平台
文献类型：成果
| 主要完成人 | 宋志棠 ; 封松林 ; 刘卫丽 ; 刘波 ; 林成鲁 ; 沈勤我 ; 林梓鑫 ; 张楷亮 ; 郭晓慧 |
| 获奖日期 | 2004 |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 本项目为一套纳米半导体薄膜加工和测试技术,制备出了高质量3－4英寸的硫系化合物Ge_2Sb_2Te_5薄膜、纳米SOI等纳米半导体薄膜材料;制备出了满足生物传感器应用要求的ZnO压电薄膜;建成了半导体薄膜材料结构和电学性能测试系统－纳米半导体薄膜加工和测试平台;建立了纳米半导体薄膜特殊的表征规范。本项目的顺利完成,为上海市建立了一个有特色的纳米半导体薄膜加工和测试平台,平台的设备主要针对纳米半导体薄膜的制备与性能表征,同时自行设计搭建了一套国内首创的测试系统,填补了国内空白。在研项目取得了许多突破性的创新 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113626]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋志棠,封松林,刘卫丽,等. 纳米半导体薄膜材料加工测试平台. 鉴定:无. 2004. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。