1×2,2×2机械光开关
文献类型：成果
| 主要完成人 | 王跃林 ; 李铁 ; 吴亚明 ; 杨艺榕 ; 解健芳 ; 向民 ; 唐衍哲 ; 王东平 ; 王文辉 ; 王浙辉 ; 陈思琴 |
| 获奖日期 | 2002 |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 本项目采用微机械加工技术,研制了三种1×2光开关。其原理分别为：①(100)垂直镜面自对准光开关,采用在(100)硅片上腐蚀出垂直的(100)镜面和自对准的光纤V型槽,并采用特殊的抛光技术提高表面质量,通过静电力导致微镜面上下运动完成光路切换功能;②梳齿驱动带自栓锁效应光开关,采用干法刻蚀技术刻蚀出梳齿和栓锁结构,腐蚀出光亮镜面,栓锁结构可在断电情况下保持当前的光路状态;③(111)镜面扭转光开关,在(110)硅片上腐蚀出竖直的(111)光亮镜面,刻蚀出驱动部件和光纤槽,通过镜面扭转完成光路切换。上述研制 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113664]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王跃林,李铁,吴亚明,等. 1×2,2×2机械光开关. 鉴定:无. 2002. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。