通信用关键微光机电器件的研究
文献类型:成果
主要完成人 | 王跃林 ; 李铁 ; 赵小林 ; 赖宗声 ; 吴亚明 ; 杨艺榕 ; 蔡炳初 ; 李文军 ; 戴旭涵 ; 茅惠兵 ; 忻佩胜 ; 石艳玲 |
获奖日期 | 2001 |
获奖类别 | 鉴定 |
获奖等级 | 无 |
中文摘要 | 本项目为微机械器件,本项目采用微机械加工技术,研制了1×2光开关。其原理为:采用在(100)硅片上腐蚀出垂直的(100)镜面和自对准的光纤V型槽,并采用特殊的抛光技术提高表面质量,通过静电力导致微镜面上下运动完成光路切换功能;该项目研制的光衰减器的工作原理:在初始状态时,两单模光纤的光路通过挡光片上的一个通光孔,光功率由输入光纤传到输出光纤的损耗很小。当平面线圈中通入电流时,挡光片向下移动一定的距离,挡光片上的通光孔的上边部会切入光路中,阻挡住部分传输的光,使传输到输出光纤中的光功率发生衰减。开展通讯用关 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113665] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王跃林,李铁,赵小林,等. 通信用关键微光机电器件的研究. 鉴定:无. 2001. |
入库方式: OAI收割
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