一种高固有频率量程达200万m/s2的微机械加速度传感器
文献类型：成果
| 主要完成人 | 王钻开 ; 陆德仁 ; 黄全平 |
| 获奖日期 | 2003 |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 对于任何加速度传感器,频率和灵敏度是两个最重要的特性参数,在检测冲击加速度时,传感器自身有特别高的固有频率又有相当大的灵敏度就特别重要,这种器件不会把冲击过程中的高频成分放大,真实地将冲击加速度转换为电信号。该发明的目的就在于提供一种具有高固有频率又有相当灵敏度的微机械冲击加速度传感器的结构和制作技术。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113669]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王钻开,陆德仁,黄全平. 一种高固有频率量程达200万m/s2的微机械加速度传感器. 鉴定:无. 2003. |
入库方式： OAI收割
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