微机械热电堆红外探测器的制造方法
文献类型：成果
| 主要完成人 | 熊斌 ; 徐峥谊 ; 王跃林 ; 王渭源 ; 戈肖鸿 |
| 获奖日期 | 2001 |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 以往制作该类型器件时要求在硅片两面进行对准光刻,不仅增加了器件的面积和成本,且器件结构本身的效率很低,课题组提出对硅片进行单面加工,使器件易于制作。同时芯片结构采用高热阻的悬梁结构;热偶材料采用具有高温差电动势率的单晶硅,可使芯片在保持大量热偶对,具有高灵敏度的同时,大幅度减小器件的单位面积和制作成本。微机械热电堆红外探测器具有高的灵敏度,宽松的工作环境与非常宽的频谱响应;与标准集成电路工艺兼容,且成本低廉,适合批量生产,可广泛应用于红外成像、红外报警、非接触测温、大气检测等军事和民用部门。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113705]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊斌,徐峥谊,王跃林,等. 微机械热电堆红外探测器的制造方法. 鉴定:无. 2001. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。