斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列
文献类型：成果
| 主要完成人 | 徐峥谊 ; 熊斌 ; 王跃林 |
| 获奖日期 | 2004 |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 该发明涉及一种具有斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列及制造方法。结构特征是支撑膜与框体成45度角,周围被气氛介质包围,一端固支,另一端与基体两点相连。他可分为分立型和单腐蚀孔型两种,前者是独立的腐蚀孔结构,腐蚀孔之间由硅衬底相隔;后者为共用一个腐蚀孔结构,悬梁间由腐蚀孔隔开。制造特征是先沉积Si_3N_4层,在沉积SiO_2层,在沉积多晶硅层,离子掺杂注入,光刻,腐蚀,等离子刻蚀并利用硅各向腐蚀剂腐蚀,去掉体硅,形成侧壁为(111)面,悬梁与基体成45度教,中间有孔隙相隔,从而支撑斜拉悬梁支撑 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113717]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐峥谊,熊斌,王跃林. 斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列. 鉴定:无. 2004. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。