高速光电探测器
文献类型:成果
主要完成人 | 张永刚 ; 李爱珍 ; 刘天东 ; 刘家洲 ; 郝国强 ; 顾溢 ; 李存才 ; 胡建 |
获奖日期 | 2005 |
获奖类别 | 鉴定 |
获奖等级 | 无 |
中文摘要 | 经5年来的不断努力,本课题的预定目标均已达到,并扩展了相关研究内容,在波长扩展探测器等方面取得了突破,全面超指标完成了预定计划。主要工作包括:设计了与LNA结构兼容的高速光电探测器结构,包括与HBT兼容的PIN结构及和HEMT兼容的MSM结构;优化了探测器材料的气态源分子束外延生工艺,探测器结构的晶格失配度控制在10-4量级,材料的本底浓度控制在1015~1016 cm-3量级,在此基础上生长出了高质量的研制光电探测器外延材料和PD/LNA单片集成芯片材料,图1和图2为探测器GSMBE外延材料的晶格失配度 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113755] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张永刚,李爱珍,刘天东,等. 高速光电探测器. 鉴定:无. 2005. |
入库方式: OAI收割
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