三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 蔡梅妮 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2012-05-31 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 车录锋 |
| 关键词 | MEMS加速度传感器 吸气剂 器件级真空封装 Q 自停止腐蚀 |
| 其他题名 | Study on Vacuum Packaging of High-Performance Capacitive MEMS Accelerometer |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | MEMS差分电容式加速度传感器，具有温度系数小、灵敏度高、稳定性好，可通过静电恢复力工作在力平衡模式等优点，适用于石油勘探及地震监测等对传感器性能要求较高的领域。在这些领域中，要求MEMS加速传感器具有很低的热机械噪声和很高的信噪比。采用真空封装的方法可减小器件的空气阻尼，大大降低热机械噪声，故需对MEMS差分电容式加速度传感器的器件级真空封装进行深入研究。首先，设计并制作了能用于器件级真空封装的四层硅键合MEMS差分电容加速度传感器。该传感器被设计为三明治式全硅结构，包括四层硅，其中上下两层硅作为固定电 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-04-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/114963]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蔡梅妮. 三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2012. |
入库方式： OAI收割
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