三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 王军诚 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2012-05-31 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 杨恒 |
| 关键词 | 压阻式三轴集成加速度传感器 抗过载 SIP微模块 芯片级封装 |
| 其他题名 | Study on a Monolithic Triaxial Accelerometer and the Integrated SIP Micro-Module |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 压阻式加速度传感器具有结构简单、尺寸小、抗电磁干扰能力强等优点，很适合应用于环境恶劣的智能物流交通系统物联网中，此外基于传感器芯片与接口电路芯片的SIP微模块的芯片级封装(CSP)也是当前研究热点。本论文根据物联网系统对加速度传感器的技术要求，开发了一种新型的、具有全方位抗过载能力的压阻式三轴集成加速度传感器，并针对制作的传感器芯片进行了SIP微模块集成的设计、工艺制作与测。首先，对加速度传感器进行了整体的结构设计。传感器采用三质量块结构，这样可以有效地降低器件的交叉轴灵敏度，且能针对不同的单元结构进行性 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-04-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/114967]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王军诚. 三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2012. |
入库方式： OAI收割
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