基于FPGA的MEMS谐振微悬臂梁生化传感器接口电路
文献类型：学位论文
| 作者 | 柴光飞 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2012-05-31 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 谐振式微悬臂梁 生化传感器 接口电路 锁相环 FPGA |
| 其他题名 | FPGA-based smart interface circuit for MEMS resonant micro-cantilever bio/chemical sensors |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 谐振式微悬臂梁生化传感器具有体积小、易集成、灵敏度高等优点，在生化痕量检测领域具有广阔应用前景。本论文主要针对实验室自制的谐振式微悬臂梁生化传感器，研究和设计了其闭环接口电路，将接口电路与传感器组成闭环自激振荡系统，从而使传感器能够实现快速、自动的生化检测。本论文首先给出了谐振式微悬臂梁传感器相关的基本理论。由基本理论分析得知，当谐振式微悬臂梁通过特异性反应吸附待测生化物质时，由于等效质量增加使得谐振频率降低，通过测量其谐振频率变化就可以分析待测物的含量或浓度。所设计的闭环接口电路由两部分构成，分别为前级 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-04-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/114969]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 柴光飞. 基于FPGA的MEMS谐振微悬臂梁生化传感器接口电路[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2012. |
入库方式： OAI收割
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