高性能微型加热器及其在气体传感器中的应用
文献类型：学位论文
| 作者 | 许磊 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2012-05-31 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李铁 |
| 关键词 | 微电子机械系统 微型加热器 气体传感器 催化燃烧 微纳融合 |
| 其他题名 | High-Performance Micro-Heaters and Their Applications in Gas Sensors |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 气体传感器在环境监测、工业生产和家庭生活等领域内都有广泛的应用。随着应用领域的拓展和应用需求的增长，对传感器的成本、功耗、寿命和便携性等指标提出了更高的要求。但是，现有的气体传感器功耗过大、成本较高，在灵敏度和响应时间等方面也难以满足日益增长的应用需求。本论文主要工作是基于微加工技术设计并制造高性能微型加热器并研究其在气体传感器中的应用。系统研究了微型加热器设计方法和制造工艺，并首次提出一种高加热效率的三维微型加热器；深入研究了基于微型加热器的热导式和催化燃烧式气体传感器；提出并验证了一种超高灵敏的微纳融 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-04-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/115018]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许磊. 高性能微型加热器及其在气体传感器中的应用[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2012. |
入库方式： OAI收割
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