新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试
文献类型：学位论文
| 作者 | 周晓峰 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2012-05-31 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 车录锋 |
| 关键词 | 微电子机械系统 加速度传感器 地震检波器 腐蚀自停止 |
| 其他题名 | Design, fabrication and testing of sandwich MEMS accelerometers |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 地震勘探是目前最常用的石油勘探方法之一。在地震勘探领域中，用以检测地震波的传感器一般被称为地震检波器。地震检波器应有理想的频率响应以及足够大的动态范围。基于MEMS技术的高性能加速度传感器具有灵敏度高、线性度好和动态范围宽等特点，成为地震检波器发展的主流。本论文围绕满足石油勘探领域中高分辨率地震勘探所需要的高性能MEMS加速度传感器进行深入的理论及实验研究，设计并制作了两种三层键合全对称三明治结构电容式加速度传感器。一种是基于V形截面梁结构的传感器，它的梁-质量块结构由八根悬臂梁全对称分布在质量块上下表面 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-04-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/115021]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周晓峰. 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2012. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。