单壁碳纳米管的材料生长、制造工艺、光学敏感性能及其机理研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 周玉修 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2011-06-29 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李铁 |
| 关键词 | 单壁碳纳米管 气流定向生长 无光刻工艺 光伏响应 光电导响应 |
| 其他题名 | Study on synthesis, device fabrication and optical sensing properties and mechanisms of single-walled carbon nanotubes |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 单壁碳纳米管（SWCNTs）由于其优异的特性而成为潜在的高性能光学（红外）传感器的研究对象。但目前国际上关于其光电响应的研究工作仍缺乏系统性；材料生长和工艺制造方面都存在复杂的化学过程，导致SWCNTs容易被试剂污染；单根SWCNT的器件只能借助复杂的纳米操控系统，制造困难，缺乏大规模应用的可能性。此外，国际上对基于SWCNT器件的光敏感机理还存在着热型或量子型的争论。针对以上问题，本文首先研究了SWCNTs的生长行为，在自建的热式化学气相沉积（CVD）系统中研究了SWCNTs跨越5μm至1mm宽沟槽及爬 |
| 学科主题 | 增补 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-04-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/115051]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周玉修. 单壁碳纳米管的材料生长、制造工艺、光学敏感性能及其机理研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2011. |
入库方式： OAI收割
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