碳基纳米材料/DLC复合薄膜的电化学沉积及机械性能
文献类型：学位论文
| 作者 | 胡红岩
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| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2008-05-07 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 张俊彦 |
| 关键词 | 电化学沉积 DLC复合薄膜 碳基纳米材料 硬度 内应力 Electrochemical deposition DLC composite films carbon-based nanomaterials hardness residual stress |
| 学位专业 | 物理化学（含：化学物理） |
| 中文摘要 | 利用电化学沉积技术制备了几种碳基纳米材料掺杂的类金刚石(DLC)复合薄膜，并对其机械性能进行了初步考察，发现这些掺杂剂能够有效降低DLC薄膜的内应力而不牺牲硬度。主要内容包括： 1.以无水甲醇为碳源，C60为掺杂剂，在单晶硅基底上电化学沉积制备得到C60-DLC复合薄膜，利用TEM、AFM、Raman、FTIR等表征手段对复合薄膜的表面形貌及微观结构进行了研究，发现C60 纳米颗粒在DLC复合薄膜中均匀分散。掺杂C60后复合膜内应力降低, 硬度升高。 2. 以DMF为碳源，多壁碳纳米管(MWNTs)为掺杂剂，通过电化学沉积制备得到了MWNTs-DLC复合膜。利用TEM、Raman、XPS、FTIR等手段对复合薄膜的表面形貌和微观结构进行表征，发现MWNTs在DLC复合薄膜形成二维网状结构。进一步研究发现MWNTs掺入DLC复合薄膜后，其机械性能明显优于未掺杂的DLC薄膜。 3. 以DMF为碳源，以石墨烯片层为掺杂剂，通过电化学沉积制备得到了石墨烯片层-DLC复合薄膜，利用TEM、Raman等表征手段对复合薄膜的微观结构进行了研究，并考察了其机械性能。 4．以无水甲醇为碳源，纳米金刚石为掺杂剂，在单晶硅基底上电化学沉积制备得到了纳米金刚石-DLC复合薄膜，利用TEM、Raman等表征手段对复合薄膜的微观结构进行了研究。由于DLC薄膜掺杂高硬度的纳米金刚石后，其硬度远远高于DLC薄膜。 |
| 学科主题 | 薄膜材料 |
| 公开日期 | 2013-04-26 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/2905]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡红岩. 碳基纳米材料/DLC复合薄膜的电化学沉积及机械性能[D]. 中国科学院研究生院. 2008. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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