微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王莉 ; 张泰华
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| 刊名 | 现代科学仪器
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| 出版日期 | 2004-08-25 |
| 期号 | 4页码:24-27 |
| 关键词 | Ni膜微桥 MEMS技术 力学性能 |
| 通讯作者 | 周勇 |
| 中文摘要 | 采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了镍(Ni)膜微桥结构试样,应用陶瓷压条为承力单元,与纳米压痕仪XP系统的Berkovich三棱锥压头相结合,解决了较宽Ni膜微桥加载问题。测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜微桥的杨氏模量及残余应力,其值分别为190.5GPa和146MPa,与应用纳米压痕仪直接测得的带有Si基底的Ni膜杨氏模量186.8±7.34GPa相吻合。 |
| 资助信息 | 国家重点基础研究发展规划(973)项目-“集成微光机电系统研究”子项目(G1999033103)资助。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41830]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王莉,张泰华. 微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究[J]. 现代科学仪器,2004(4):24-27. |
| APA | 王莉,&张泰华.(2004).微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究.现代科学仪器(4),24-27. |
| MLA | 王莉,et al."微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究".现代科学仪器 .4(2004):24-27. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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