纳米硬度计及其在微机电系统中的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张泰华 ; 杨业敏
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| 刊名 | 现代科学仪器
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| 出版日期 | 2002-02-25 |
| 期号 | 1页码:32-37 |
| 通讯作者邮箱 | zhangth@lnm.imech.ac.cn |
| 关键词 | 微机电系统 纳米压痕 纳米划痕 |
| 通讯作者 | 张泰华 |
| 中文摘要 | 微机电系统 (MEMS)技术的迅速崛起 ,推动了对其所用材料和结构的力学性能研究。本文简要介绍纳米硬度技术的发展、理论模型和MTS公司的NanoIndenterXP系统的配置、测量原理及功能。并根据我们的一些研究结果 ,说明它在微机电系统中的应用 |
| 资助信息 | 国家自然科学基金资助项目 (批准号 :1 0 1 0 2 0 2 1和 1 0 1 72 0 86) |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41940]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 通讯作者 | 张泰华 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张泰华,杨业敏. 纳米硬度计及其在微机电系统中的应用[J]. 现代科学仪器,2002(1):32-37. |
| APA | 张泰华,&杨业敏.(2002).纳米硬度计及其在微机电系统中的应用.现代科学仪器(1),32-37. |
| MLA | 张泰华,et al."纳米硬度计及其在微机电系统中的应用".现代科学仪器 .1(2002):32-37. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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