Mechanical and tribological properties of epitaxial cubic boron nitride thin films grown on diamond
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zhang XW
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| 刊名 | advanced engineering materials
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 10期号:5页码:482-487 |
| 关键词 | CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION |
| ISSN号 | 1438-1656 |
| 通讯作者 | deyneka-dupriez, n, univ ulm, inst mikro & nanomat, d-89081 ulm, germany. 电子邮箱地址: nataliya.deyneka@uni-ulm.de |
| 中文摘要 | 电子邮箱nataliya.deyneka@uni-ulm.de |
| 学科主题 | 半导体材料 |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2010-03-08 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/6636]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhang XW. Mechanical and tribological properties of epitaxial cubic boron nitride thin films grown on diamond[J]. advanced engineering materials,2008,10(5):482-487. |
| APA | Zhang XW.(2008).Mechanical and tribological properties of epitaxial cubic boron nitride thin films grown on diamond.advanced engineering materials,10(5),482-487. |
| MLA | Zhang XW."Mechanical and tribological properties of epitaxial cubic boron nitride thin films grown on diamond".advanced engineering materials 10.5(2008):482-487. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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